MEDICAL
PHOTONICS誌

最終更新日：2010年6月11日

（株）ナノシステムソリューションズ

〒206-0033 　東京都多摩市落合1-33-3

TEL 042-339-8440 　FAX 042-339-8451
E-mail：info@nanosystem-solutions.com
http://www.nanosystem-solutions.com/

【設立年】 2004年 　【代表取締役】 芳賀 一実

独立行政法人産業技術総合研究所の支援を受け、ナノテクノロジーとバイオテクノロジーの融合により、グローバルな市場に求められる新規製品の開発に取り組む研究開発型ベンチャーとしてスタートした企業です。

【主な製品】

【マスクレス露光装置 D-light DL-1000】
バイオ・メディカル分野において試料分離や合成、分析を高効率化・低コスト化できる 手段として注目されているμ-TASなどのマイクロ流体デバイスの開発に威力を発揮する マスクが不要のコンパクトな露光装置です。 マスクアライナーの代替装置として、マスクアライナー用マスクの製造装置として、 電子ビーム描画装置の共用装置としてなど、様々な形でご利用が可能です。 装置の特長は以下の通りです。
■最小画素１μmで自由度の高いパターニングが可能
■405nmのLEDを光源に採用、優れたメンテナンス性を実現 ■薄い透明基板にも対応する独自のオートフォーカス技術
■様々な厚さ（サブμm〜100μm以上）の多様なレジストに対応
■グレースケール画像の投影でレジストの三次元加工が可能
■１回の露光で最適条件が決まるテスト露光モード搭載
■TTLアライメントと画像処理による高精度重ね合わせ
■露光パターンと下地パターンの同時観察機能
■CADフォーマットはDXF、GDSIIに対応
■光学倍率やステージストロークの変更も柔軟に対応